產(chǎn)品簡介：

公司高純乙硅烷生產(chǎn)線于2022年10月投產(chǎn)，這是國內(nèi)首條自創(chuàng)自主的以硅烷法生產(chǎn)乙硅烷的生產(chǎn)線，年產(chǎn)100噸高純乙硅烷，純度高達(dá)99.9999%。乙硅烷成膜溫度低、成膜速率快、膜質(zhì)量平滑均勻，所以可用來以薄膜沉積制備純硅，是半導(dǎo)體工業(yè)重要的特用電子級氣體之一。乙硅烷主要用于14納米及以下先進(jìn)制程芯片的生產(chǎn)，也用于非晶硅膜、氧化膜、氮化膜等方面。

產(chǎn)品展示：